直線度：用標(biāo)記表示-。定義特定平行線與理想平行線之間變化量的形狀公差。它由四個因素組成：外觀（理想公差外觀）、尺寸（尺寸公差值）、方向和位置。

平面度：平整度是指理想平面的誤差與基板的宏觀凹凸縱橫比的相關(guān)性。準(zhǔn)確的平面度測量是指將被測表面改變?yōu)槠淅硐肫矫?。平面度偏差是將被測表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值間距為平面度誤差；或根據(jù)比表面上幾個點(diǎn)的絕對高差的精確測量，計算以線值表示的平面度誤差。

平行度：用標(biāo)記//表示。平行度是指兩個平面或兩條直線的平行度。一個平面（邊）與另一平面（邊）平行面的相對性偏差控制值。平行度尺寸公差是一個固定項(xiàng)目的尺寸公差，它是被測因素相對性標(biāo)準(zhǔn)方位角的總允許偏差。因此，固定項(xiàng)尺寸公差具有操縱方向的功能，即操縱測量系數(shù)的方向，使其達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)

垂直度：由標(biāo)記表示⊥. 垂直度對平行線中間、大理石組件制造商平面圖中間或平行線和平面圖中間的垂直度進(jìn)行評論。其中一條平行線或平面為評價標(biāo)準(zhǔn)，平行線可以是被測物體平行線或勻速直線運(yùn)動軌跡的一部分，平面可以是平面的一部分，也可以是由被測物體軌跡生成的平面。